Integrated circuit metrology, inspection and process control VII - 2-4 March 1993, San Jose, California
- Författare
- (Michael T. Postek, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1993 | USA | 594 sidor. |